
将热量精准地输送到需要的地方
如果您曾经使用过生物传感器晶圆,就会明白其中的难题。需要为晶圆表面提供精确的能量供应,但普通的红外灯却无法做到这一点——它们的能量会向四周散射。大部分热量都会被反射回去或散失到空气中,这无疑相当于白白浪费了电费。
我们找到了解决这个问题的方法:使用镀金反射器,将每一瓦特的能量都精准地传递到晶圆上。
为什么选择黄金?
虽然听起来很高级,但实际上这只是因为黄金具有出色的红外光反射性能。当然也可以使用铝或抛光钢,但那些材料会让过多的能量泄漏掉。通过在反射器表面加上一层薄薄的黄金,就可以将原本会散发出去的热量重新引导回晶圆上。这样一来,灯光就变成了一个聚焦型热源,从而让晶圆表面获得更集中的热量,而电费则保持不变。
确保温度恰到好处
在这个领域里,“差不多”是行不通的。如果热量分布不均,那么晶圆就会变形,或者化学键也会受到影响。这真是令人沮丧。
由于我们可以调整这些镀金反射器的形状,因此可以精确控制光束的照射位置。这样就不必担心晶圆的中心过热而边缘却仍然较冷的情况了。也无需购买过大尺寸的灯具,因为那样反而可能损坏其他组件。
需要注意的一些事项
不过,当能量如此集中时,温度会迅速上升。您需要仔细检查晶圆固定装置和支撑结构,因为它们在如此高的能量作用下会承受很大的压力。同时,还要确保冷却系统能够应对这种高负荷,否则其他部件也可能会因吸收过多热量而受损。
最棒的是,这些反射器可以直接替换现有的产品。只需将其连接到现有的控制器上即可使用。您会发现,产品的加热速度大大加快,因为能量直接作用于产品本身,而不是让整个工作室变热。