如何让晶圆干燥更加高效？
在清洗阶段使用防水型红外灯时，实际上就是在与能源浪费作斗争。虽然需要尽快将硅晶圆烘干，但也不能一味增加热量——否则会损坏电路。真正的问题是，过多的能量会流入机器外壳中，而无法作用于晶圆上。
为何选择黄金作为反射材料？
大多数人最初会使用铝制反射器，但实际上这种材料效果不佳。它吸收了太多能量，而剩下的能量则被散射掉。而黄金则不同，它能非常有效地将红外辐射引导到需要的地方。通过用高纯度黄金来包裹机器外壳，我们可以让热量直接作用于晶圆上。这样，就不需要从电源中获取更多能量了。这虽然是简单的物理原理，但却能带来巨大的效果。
关于热量的注意事项
不过，有个问题：当如此多的能量被反射回目标物时，灯管本身也会变得非常烫。如果没有适当的冷却系统，热量就会积累起来，从而更快地损坏灯管。我的建议是：要密切关注灯管的温度。调整风扇的设置比更换坏掉的灯管要便宜得多。
在实际应用中的效果
由于这些灯是密封设计，因此黄金涂层确保了每一瓦特的能量都能用于蒸发水分。我们发现，这种设计可以大大缩短干燥时间。因为能量是直接作用于晶圆上的，而不是从侧面散失掉。这样一来，处理速度就能提高，整个过程也会更加顺畅。
最后一点：请务必检查好接线情况。高功率的红外灯在启动时可能会出现电流波动，此时就不希望因为电流过大而导致断路器跳闸了。