在半导体制造厂中减少碳排放：为何选择红外固化技术？ 说实话，半导体制造厂是能源消耗大户。看看这些电能都用在了哪里——很大一部分都被用于热处理过程。 多年来，人们一直使用大型对流式烤箱来进行加热处理。但问题在于，为了将晶圆加热到合适的温度，这些烤箱需要消耗大量能量来加热水气以及烤箱壁面。这显然是一种...

停止用传统方式加热空气：更高效的工厂运营方法 如果你们正在规划适合工业4.0的智能工厂，那么首先应该摒弃那种效率低下的传统对流式加热方式。 我们选择使用红外线加热系统。因为这种系统能够直接加热目标物体，无需浪费能量去加热整个房间里的空气，从而让基材达到所需的温度。这样一来，不仅能够降低能源成本，还...

别再浪费时间在无效的加热方式上了：为什么碳纤维红外灯更适合用于半导体加工 我们先来谈谈传统的高温加热方式。大多数人习惯于使用对流加热的方式——先加热空气，再让空气去加热工件。但在半导体的深度加工过程中，这种“等待时间”其实是个大问题。它会导致处理效率下降，让整个流程变得缓慢。 而碳纤维红外灯则完全...

让我们来聊聊石英保护罩，以及为什么测试如此重要。 可以把生产设备中的石英保护罩看作是高压加热元件与设备其他部件之间的唯一屏障。当这些灯处于满负荷工作时，情况会变得非常复杂。如果玻璃上存在哪怕微小的裂缝或杂质，就有可能引发电弧放电现象。 那可不是简单的部件损坏问题——那意味着控制板也会随之损坏。没人...

避免晶圆干燥过程中的污染问题 如果你们正在使用100级洁净室，那么你们应该很清楚：哪怕只有一粒微小的灰尘，也会导致晶圆的合格率大幅下降。这真是令人沮丧。大多数加热元件都是造成这一问题的罪魁祸首——因为它们在需要保持稳定状态时，反而会释放出气体或产生碎片。 因此，我们选择了高纯度的合成石英来制作红外...

如何让100级洁净室保持绝对清洁 在半导体制造领域，哪怕只有一粒灰尘或一小片金属氧化物颗粒，都足以毁掉一块芯片。这种情况实在很糟糕。大多数加热元件并不适合在这种环境中使用——因为它们在加热和冷却过程中会释放出气体或微小颗粒。 因此，我们选用高纯度的合成石英红外灯。这类灯就是为100级（ISO 5标...

在制造车间里，用于干燥的每一焦耳能量，都是无法用于其他工艺环节的能量。传统的干燥设备往往需要过度加热来弥补热量传递上的延迟，这不仅浪费能源，还会影响光刻胶的质量。我们设计的干燥平台能够避免这种浪费，同时仍能保持与光刻工艺要求相当的热控制精度。 从技术角度来看，关键在于： 我们使用中波红外发射器，并...