用于晶圆的精密红外传感器
为何我们在晶圆厂采用红外固化技术 从溶剂干燥方式转向红外固化技术,并非跟风之举,其实这背后有着简单的物理原理。我们不需要为了干燥一块小小的晶圆而让整个房间都变热,只需利用红外传感器和发射器来作用于涂层中的特定分子结构即可。这样一来,能量就能直接作用于目标位置,因此便无需再使用那些有害的化学催化剂以...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
正确干燥MEMS晶圆的方法 在制造MEMS传感器时,去除晶圆上的水分是一项颇具挑战性的任务。虽然需要让晶圆保持干燥状态,但也不能直接用高温来处理它,因为那样会导致基板变形或留下残留物。
这就是我们的红外线干燥器发挥作用的地方。我们使用高强度的石英灯,这些灯能够在几秒钟内迅速干燥晶圆表面。速度非常快...
智能传感器封装红外线技术
红外加热与热风加热:为何在半自动包装过程中选择合适的加热方式如此重要?
在处理智能传感器相关工作时,每浪费一秒钟,就意味着有金钱在流失。长期以来,我们一直依赖热风循环来加热,但转向红外加热其实是为了消除这种延迟现象。
想想热风加热的原理吧:先加热空气,然后让空气去加热产品。这就好比用暖风机来供暖...
氢气传感器制造用加热器
停止让热量白白浪费在氢传感器上 在制造氢传感器时,热管理至关重要。如果薄膜沉积或退火过程出现哪怕一点点偏差,整个晶圆都会报废。
问题在于:普通的石英灯会向各个方向散发热量。如果没有有效的办法来收集这些热量,那么大量电能就会白白浪费在机器的机壳中。这显然是极大的浪费。
解决问题的秘诀
我们通过在反射...
晶圆处理设备用温度传感器
防止晶圆处理工具过热 你有没有注意到,普通的红外加热方式其实会让整个空间都变得很热?这就好比试图用喷火器来点燃蜡烛一样。虽然我们希望让晶圆变热,但实际上,整个真空室都会吸收掉那些热量。
这种“多余的 Heat”简直是个噩梦。它会让昂贵的工具外壳变成一个巨大的散热器,从而导致温度不稳定——最糟糕的是...