别再浪费时间在无效的加热方式上了：为什么碳纤维红外灯更适合用于半导体加工
我们先来谈谈传统的高温加热方式。大多数人习惯于使用对流加热的方式——先加热空气，再让空气去加热工件。但在半导体的深度加工过程中，这种“等待时间”其实是个大问题。它会导致处理效率下降，让整个流程变得缓慢。
而碳纤维红外灯则完全不同。它们不需要通过空气来传递热量，而是直接将能量传递到工件上。
为什么会有这样的差异？
如果你用过普通的石英加热器，那你就知道那种等待的过程有多烦人了——必须等待鼓风机把腔室内的空气充分加热。这实在很麻烦。
但碳纤维灯则不然。一旦打开开关，它们就会立即开始工作。其升温速度从几分钟缩短到几秒钟，几乎可以瞬间完成加热过程。
此外，这些灯具还可以被设定为特定的波长，这样能量就能直接作用于晶圆上，而不是仅仅用来加热机器的金属外壳。
减少空间占用
最棒的一点是，再也不用处理那些庞大的管道和大型风扇了。同样的功率下，现在可以用更小的空间来实现加热效果。这样一来，就可以优化机器的布局，让车间有更多空间来操作设备。
当然，也有缺点
不过，这并不是完美的解决方案。因为加热速度太快，如果PID控制器设置不当，就很容易超过目标温度。如果传感器反应迟钝，那么在系统意识到需要降低温度之前，晶圆就已经被过度加热了。
因此，需要使用响应迅速的热电偶或高温计来控制温度。
但对于那些希望提高每小时处理晶圆数量的工厂来说，这无疑是一个不错的选择。毕竟，用精确的电控手段来替代复杂的空气管理方式，也是值得的交换。