如何消除红外固化过程中的臭氧问题
在制造半导体产品时，最不希望出现的便是那种会损害晶圆质量或使洁净室变成危险环境的干燥工艺。正因如此，我们才会使用无臭氧的红外灯。这样就能轻松达到环保且无铅的标准，无需再为这些问题烦恼。
为什么臭氧是个麻烦
问题在于：普通的短波红外灯会发出185纳米到254纳米范围内的辐射。这一波长的光线会与空气中的氧气发生反应，从而产生臭氧。
在制造厂里，臭氧无疑是一种隐患。它会侵蚀设备，同时也会对操作人员构成威胁。显然，没人希望出现这种情况。
为了解决这个问题，我们可以使用带有特殊涂层或掺杂剂的石英管。这相当于一种VUV光谱过滤器——它能够阻挡200纳米以下的波长，从而确保灯仍然能提供足够的能量用于固化过程，同时避免臭氧的产生。很简单吧？
对生产流程的好处
最棒的是，你无需再使用那些笨重的排气系统来清除空气中的有害气体。这样一来，固化设备所占的空间就会变小，同时也能避免不必要的能源浪费。
此外，这类灯能够将能量直接传递到被处理的物体上。这样就不必浪费时间去加热周围的空气，而是直接加热物体本身。这也是为何这种方法非常适合用于环保型树脂和无铅焊料。
不过，有一个需要注意的缺点：由于我们过滤掉了VUV光谱中的某些波长，因此能量的分布会有所变化。你可能需要调整传送带的速度或停留时间，以确保达到预期的温度。如果你正在处理大批量的产品，那就务必仔细检查设备的升温速度，确保一切都在控制范围内。
安装方式
这些灯可以直接替代现有的红外灯。如果你已经有红外固化装置，那么这些新灯可以直接替换上去。它们使用标准的工业电压，因此只需将其连接到现有的控制器上即可开始使用。
一个小贴士：一定要保持石英管的清洁。如果玻璃表面积聚了灰尘，就容易形成热点，从而导致灯丝过早损坏。只要保持石英管清洁，它们的使用寿命就会更长。