MEMS传感器晶圆干燥加热器

正确干燥MEMS晶圆的方法 在制造MEMS传感器时，去除晶圆上的水分是一项颇具挑战性的任务。虽然需要让晶圆保持干燥状态，但也不能直接用高温来处理它，因为那样会导致基板变形或留下残留物。 这就是我们的红外线干燥器发挥作用的地方。我们使用高强度的石英灯，这些灯能够在几秒钟内迅速干燥晶圆表面。速度非常快...