在洁净室中减少碳排放：为何我们选择使用红外加热器
在半导体生产环境中，保持适宜的温度是一件很麻烦的事。通常，人们会使用那些笨重的电阻式加热装置或对流式烤箱。虽然这些方法确实有效，但它们极其浪费能源。
我们现在开始使用短波红外加热器。这是一次简单的替换，但却能显著降低洁净室所需的能量消耗。
不再加热空气
传统对流式加热方式效率低下——它试图让箱内的每一个氮分子或氩分子都升温，这样才能让工件变热。这无疑造成了大量能源的浪费。而红外加热器则不同，它通过辐射直接作用于目标物体。这样就不必再对抗空气中的各种因素，能量可以直接传递到需要的地方。只要将功率和电压与晶圆的重量相匹配，升温速度就会大大加快。这样一来，每单位的能耗就会降低。
关于设备的细节
这些加热器是由高纯度石英管制成的。为了进一步提升效率，我们还会在其表面涂上特殊的涂层。这样，能量就能更集中地作用于被加热的物体上，而不会像镜子一样被反射回去。
由于我们使用的是标准的工业连接器，因此只需将这些加热器插入现有的系统中即可。不过需要注意的是，这些加热器在极小的空间内就能产生巨大的热量。由于其功率密度极高，因此接线时必须格外小心。如果电缆的规格不够，就会导致电压下降，进而导致加热不均匀，这是最不可取的情况。
实际带来的好处
最棒的一点并不是加热器本身，而是它对整个房间环境的影响。因为不需要再加热箱内的空气，所以冷却系统可以轻松地发挥作用。这样一来，就不需要再费力地维持环境的稳定性了。
这才是真正实现碳减排的方式。它并非依靠什么“绿色”概念或昂贵的设备，而是通过减少整个系统的能源浪费来实现的。