降低工厂干燥过程中的能耗

在制造车间里，用于干燥的每一焦耳能量，都是无法用于其他工艺环节的能量。传统的干燥设备往往需要过度加热来弥补热量传递上的延迟，这不仅浪费能源，还会影响光刻胶的质量。我们设计的干燥平台能够避免这种浪费，同时仍能保持与光刻工艺要求相当的热控制精度。 从技术角度来看，关键在于： 我们使用中波红外发射器，并...