正确干燥MEMS晶圆的方法 在制造MEMS传感器时，去除晶圆上的水分是一项颇具挑战性的任务。虽然需要让晶圆保持干燥状态，但也不能直接用高温来处理它，因为那样会导致基板变形或留下残留物。 这就是我们的红外线干燥器发挥作用的地方。我们使用高强度的石英灯，这些灯能够在几秒钟内迅速干燥晶圆表面。速度非常快...

避免晶圆干燥过程中的污染问题 如果你们正在使用100级洁净室，那么你们应该很清楚：哪怕只有一粒微小的灰尘，也会导致晶圆的合格率大幅下降。这真是令人沮丧。大多数加热元件都是造成这一问题的罪魁祸首——因为它们在需要保持稳定状态时，反而会释放出气体或产生碎片。 因此，我们选择了高纯度的合成石英来制作红外...

在制造车间里，用于干燥的每一焦耳能量，都是无法用于其他工艺环节的能量。传统的干燥设备往往需要过度加热来弥补热量传递上的延迟，这不仅浪费能源，还会影响光刻胶的质量。我们设计的干燥平台能够避免这种浪费，同时仍能保持与光刻工艺要求相当的热控制精度。 从技术角度来看，关键在于： 我们使用中波红外发射器，并...