在半导体制造厂中减少碳排放：为何选择红外固化技术？
说实话，半导体制造厂是能源消耗大户。看看这些电能都用在了哪里——很大一部分都被用于热处理过程。
多年来，人们一直使用大型对流式烤箱来进行加热处理。但问题在于，为了将晶圆加热到合适的温度，这些烤箱需要消耗大量能量来加热水气以及烤箱壁面。这显然是一种浪费。
因此，我们采用了经过认证的红外固化灯。与普通烤箱不同，红外灯能直接作用于晶圆或光阻层，无需加热整个空间。这样一来，就能显著节省能源。
节能的原理
想象一下普通烤箱的工作方式——它的工作速度很慢，因为要加热大量的空气，而且热量会不断流失。而我们的红外系统则利用短波辐射，热量可以立即传递到被加热的物体上，无需等待。由于升温速度快，因此处理周期也会缩短，这样机器就不必连续运转数小时才能完成一批产品的加工。
此外，这类灯具还具有高功率密度特点。由于能量被集中到一束光线中，所以整个加热装置所占的空间更小。同时，由于不会产生大量废热，因此空调系统也不必那么辛苦地工作来保持车间内的低温。
实际应用中的注意事项
这类灯具是专为洁净室设计的，因此不会产生任何气体排放或颗粒物。我们使用高纯度的石英外壳，因为任何污染都可能破坏生产流程。
不过，在电气方面需要注意的是，这类高功率灯具在启动时会消耗大量电力。如果您的电气系统无法承受这样的负荷，那么断路器就会频繁跳闸。
另外，短波红外线的强度非常高。如果输送带停滞几秒钟，温度就会迅速上升。因此，必须设置安全装置，一旦输送带停止运转，就必须立即切断电源，否则晶圆就会被烧毁。
对生产指标的影响
总的来说，采用红外固化技术可以降低每块晶圆的能耗。这是一种简单有效的减少碳足迹的方法。
最好的是，这种技术通常可以直接替代原有的固化设备。这样，您可以在不更换整个生产线的情况下，提高生产效率并降低碳排放。