PID控制型半导体加热器

在光刻工厂里，光阻软化烘烤过程中，只要温度出现0.5°C的波动，就足以导致大量产品变成废品。而当整个晶圆表面的温度无法保持一致时，晶圆干燥过程也会失败。为此，我们设计了PID控制的半导体加热器，通过闭环红外控制来确保晶圆表面的温度稳定。 关键在于精确的控制 我们采用了响应速度快的红外发射器与高精度...