红外加热与热风加热：别再浪费时间在晶圆固化上了
如果您仍然依赖热风循环来进行半导体加工，那其实就是在与时间作斗争。问题在于，空气本身并不擅长传递热量。使用强制对流方式时，必须先加热空气，然后再加热整个处理腔体，最后才能加热晶圆。这一过程非常缓慢，而且还会造成生产效率的下降。
省去中间环节
这就是为什么我们选择使用红外灯。无需等待空气变热，红外灯可以直接将电磁辐射传递到晶圆表面。这样一来，加热速度就会大大提高。我们还会使用特殊的反射器，确保能量能够精准地作用于晶圆上，从而避免不必要的能量浪费。如此一来，几秒钟内就能达到所需的温度。不再需要等待设备升温，自然就能提升生产效率。
关键在于反射器
真正的“魔法”就体现在反射器的设计上。如果使用质量较差的反射器，那么一半的能量就会被白白浪费掉。我们会使用高反射率的涂层，让每一个光子都重新照射到晶圆上。这样就能形成均匀的热分布，从而使晶圆得到均匀的固化处理——更重要的是，不会导致晶圆变形。
当然，也有局限
不过，这并非万能的解决方案。高密度的红外灯会产生极高的温度。如果反射器出现偏差，或者冷却系统无法承受如此高的温度，那么灯座或外壳就有可能被烧毁。因此，必须合理平衡强大的加热能力与有效的冷却系统。
实际应用中的效果
对于那些厌倦了传统对流加热方式的人来说，红外加热无疑是更好的选择。它不仅能缩短固化时间，还能消除因使用热风加热而带来的时间浪费问题。只要正确设置反射器，就能大幅减少加工时间。