无臭氧红外灯

如何消除红外固化过程中的臭氧问题 在制造半导体产品时，最不希望出现的便是那种会损害晶圆质量或使洁净室变成危险环境的干燥工艺。正因如此，我们才会使用无臭氧的红外灯。这样就能轻松达到环保且无铅的标准，无需再为这些问题烦恼。 为什么臭氧是个麻烦 问题在于：普通的短波红外灯会发出185纳米到254纳米范围...