标签为“氢气”的页面如下 氢气传感器制造用加热器 停止让热量白白浪费在氢传感器上 在制造氢传感器时,热管理至关重要。如果薄膜沉积或退火过程出现哪怕一点点偏差,整个晶圆都会报废。 问题在于:普通的石英灯会向各个方向散发热量。如果没有有效的办法来收集这些热量,那么大量电能就会白白浪费在机器的机壳中。这显然是极大的浪费。 解决问题的秘诀 我们通过在反射... Read more...
氢气传感器制造用加热器 停止让热量白白浪费在氢传感器上 在制造氢传感器时,热管理至关重要。如果薄膜沉积或退火过程出现哪怕一点点偏差,整个晶圆都会报废。 问题在于:普通的石英灯会向各个方向散发热量。如果没有有效的办法来收集这些热量,那么大量电能就会白白浪费在机器的机壳中。这显然是极大的浪费。 解决问题的秘诀 我们通过在反射... Read more...