用于晶圆的精密红外传感器

为何我们在晶圆厂采用红外固化技术 从溶剂干燥方式转向红外固化技术，并非跟风之举，其实这背后有着简单的物理原理。我们不需要为了干燥一块小小的晶圆而让整个房间都变热，只需利用红外传感器和发射器来作用于涂层中的特定分子结构即可。这样一来，能量就能直接作用于目标位置，因此便无需再使用那些有害的化学催化剂以...