UHP 超纯 加热灯

阻止碎片飞溅：在加热灯故障时保护晶圆不被损坏 在高效能的制造工厂中，加热灯发生故障无疑是一场噩梦。这不仅会导致机器暂停运转数小时，还会造成严重的污染问题。 当石英管破裂时，它会产生大量细小的碎片和颗粒，这些碎片会附着在晶圆上，导致整批晶圆报废。 我们花了大量时间来研究如何避免这种情况的发生。以下就...