如何让100级洁净室始终保持清洁状态（同时还能有效加热物体）
在100级洁净室中工作时，温度其实只是影响环境质量的一个因素而已。真正的难题在于空气中的颗粒物。
大多数普通加热器都会带来问题——它们会释放出各种微小颗粒，这些颗粒可能会瞬间破坏晶圆或损坏光学镜头。这无疑是一场灾难的隐患。因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外线灯。
为什么选择石英材质？
我们使用的是氧化铯含量较高的熔融石英。简单来说，这种材料在高温下也不会破碎。而廉价玻璃则会在达到最高温度时释放出挥发性有机化合物，但我们的石英材料则不会产生这种情况，它始终保持稳定且不会发生反应。
此外，我们还使用短波红外线。这种辐射可以直接作用于需要加热的物体，从而避免因对流而导致的灰尘飞扬，进而保护工件免受污染。
正确的安装方式
我们设计的这些灯具具有防漏功能。电极部分经过特殊密封处理，这样就能防止金属粉尘从灯管两端逸出。需要注意的是，在接线时必须确保连接点绝对干净，否则氧化残留物可能会引发后续问题。
这些灯具能产生很强的热量，可在极小的空间内提供大量热量。不过，由于功率密度很高，所以不能将灯具塞得太紧。灯具周围必须要有足够的空气流通空间，否则控制器的线路就会因为过热而受损。
权衡利弊
这类灯具非常适合用于半导体件的干燥以及高端医疗设备的固化处理。它们能快速提供热量，同时还能保持工件的清洁状态。不过需要注意的是，高纯度石英比经过掺杂处理的石英更易碎。如果设备出现振动或受到机械冲击，不要直接将灯具固定在那里，而应使用带有缓冲装置的支架来固定灯具。这是一个简单的措施，但能有效地防止灯具破裂。