なぜ熱の無駄遣いを防ぐために金を使うのか？ ウェーハの処理中に電力の消費量が多くなっているのに、温度が適切でない場合、おそらく形状に問題があるのです。つまり、熱が外に漏れてしまっているのです。その赤外線エネルギーはウェーハに届く代わりに、機械の筐体に逃げてしまいます。これは明らかに電力の無駄遣いで...

ファブの現場では、ソフトベイクオーブンが常に動いていますが、実際に問題となるのは、サーマルアナライザ内にある加熱ランプです。フォトレジストを加熱する際に、ランプの出力が2°C程度変動するだけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。そうなると、生産が停止してしまいます。私たちは、そのよ...

ファブの現場において、酸化炉の熱管理が、ウエハ全体のゲート酸化膜の品質を決定します。わずか1℃の温度変動だけで、良品であったウエハが廃棄物になってしまいます。私たちは、このような変動を排除するために、特別なウエハ酸化用ヒーターを開発しました。 技術的な観点から重要なのは何か 設計の核心は、石英ハロ...

ファブフロアでは、300 mmウェハがライン上に置かれ、フォトレジストのプロファイルを固定するソフトベイクを待っている。ホットプレートの温度がわずかにでもずれると、ライン幅制御が乱れ、ロット全体がスクラップになる可能性がある。そこで、XRD加熱ランプを開発し、その変動要因を排除した。 技術的に重要...