PID制御型半導体ヒーター

ファブ内では、フォトレジストのソフトベイク時に0.5℃の温度変動があれば、多くのウェーハが廃棄処分になってしまいます。ウェーハの乾燥も、表面全体で均一な温度を維持できないと効果が得られません。そこで、このような変動を防ぐために、PID制御式の半導体ヒーターを搭載しました。また、ウェーハ全体での温度...