MEMSセンサーワーフ乾燥ヒーター

MEMSウェーハの適切な乾燥方法 MEMSセンサーを製造する際、水分を取り除くことはかなり難しい作業です。ウェーハを乾燥させる必要がありますが、単に高温で加熱してしまうと、基板上にひび割れが生じたり、残留物が残ったりしてしまいます。 そこで役立つのが、私たちが使用する赤外線乾燥ヒーターです。高強度...