装置を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう もし、これまでに一般的な抵抗加熱方式を使ったことがあるなら、その手間はよく知っているはずです。ウェーハを加熱しようとしても、結局はチャンバー全体が過度に加熱されてしまいます。これは電力の無駄遣いであり、正直、面倒なんです。触ると危険なほど熱く...

半開放型の商業用廊下では、暖房を効果的に行うのが難しい。風が入り込みやすく、人々の動きによって室内の温度が乱れがちです。快適な環境を保つためには、ヒーターを絶えず稼働させ続ける必要があります——もちろん、その分、電気代も高くなります。赤外線ヒーターなら、空気中に熱を放出するのではなく、人が立ってい...