クリーンルーム設備が工場をアップグレード

製造現場では、ラインは決して停止しない。リソグラフィトラック、コート/ベイクモジュール、クリーニングセルはすべて同期して稼働している。熱システムがわずかにでもズレると、フォトレジストのプロファイルが変化し、CD制御が乱れ、歩留まりに影響を及ぼす。 クリーンルーム設備のアップグレードは見た目の問題で...