クリーンルームでの熱の無駄遣いをやめましょう。 シリコンウェーハを加熱する経験がある人なら、その苦労はご存知でしょう。オーブンに電力を供給しても、そのエネルギーの大部分が無駄になってしまいます。エネルギーは壁に反射したり、筐体の中に漏れてしまったりします。これは電力の無駄遣いであり、時間の無駄でも...

クリーンルーム用カートにおける「過度な発熱」問題の解決法 何かの機器に触れたとき、その機器がひどく熱くて飛び上がってしまったことはありませんか？それが、通常の加熱素子が持つ問題です。これらの加熱素子は、360度全方位に熱を放出します。 半導体製造用のクリーンルーム用カートでは、これは大変な問題です...