ファブ内での汚染問題を防ぐために もし、クラス100のクリーンルームを運営しているなら、ご存知の通り、わずかなほこりでもウェハの歩留まりが大幅に低下してしまいます。本当に厄介です。ほとんどの場合、問題の原因は加熱素子にあります。安定した状態で動作してほしい時に、そこからガスや微細な破片が放出されて...

なぜ熱の無駄遣いを防ぐために金を使うのか？ ウェーハの処理中に電力の消費量が多くなっているのに、温度が適切でない場合、おそらく形状に問題があるのです。つまり、熱が外に漏れてしまっているのです。その赤外線エネルギーはウェーハに届く代わりに、機械の筐体に逃げてしまいます。これは明らかに電力の無駄遣いで...

装置を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう もし、これまでに一般的な抵抗加熱方式を使ったことがあるなら、その手間はよく知っているはずです。ウェーハを加熱しようとしても、結局はチャンバー全体が過度に加熱されてしまいます。これは電力の無駄遣いであり、正直、面倒なんです。触ると危険なほど熱く...

製造現場において、乾燥に費やされる1ジュールのエネルギーは、プロセスのために使えないエネルギーとなります。従来の乾燥装置では、熱的な遅れを補うために過剰なエネルギーが消費され、それによって電力が無駄になり、さらにフォトレジストの品質にも悪影響を与えます。私たちは、このような無駄を削減しつつ、リソグ...

半開放型の商業用廊下では、暖房を効果的に行うのが難しい。風が入り込みやすく、人々の動きによって室内の温度が乱れがちです。快適な環境を保つためには、ヒーターを絶えず稼働させ続ける必要があります——もちろん、その分、電気代も高くなります。赤外線ヒーターなら、空気中に熱を放出するのではなく、人が立ってい...