なぜ熱の無駄遣いを防ぐために金を使うのか？ ウェーハの処理中に電力の消費量が多くなっているのに、温度が適切でない場合、おそらく形状に問題があるのです。つまり、熱が外に漏れてしまっているのです。その赤外線エネルギーはウェーハに届く代わりに、機械の筐体に逃げてしまいます。これは明らかに電力の無駄遣いです。 だからこそ、金メッキされた反射板を使用するのです。
宝石のように見えるからではない
明確にしておきますが、機械を派手に見せるために金を使っているわけではありません。通常のアルミニウム製の反射板は、余計なエネルギーを吸収してしまいます。しかし金は違います。近赤外線光を元の場所に効率的に反射させることができます。 金の層を使用することで、エネルギーの流れを集中させることができます。その結果、電源の出力を上げる必要なく、ウェーハの表面温度を適切に保つことができます。そうすれば、電気代も節約でき、ハードウェアもより冷却されます。
熱を正確に望む場所に送る
ここでの真の目的は、熱密度を高めることです。誰もウェーハ上に「冷たい部分」があるのは望みません。そうなると、結果が不安定になり、多くの廃棄物が発生します。 私たちは、これらの反射板の曲率を調整して、エネルギーを正確に目的の領域に集中させます。これにより、温度上昇の時間が大幅に短縮されます。また、ウェーハの表面全体が均一に処理されます。
欠点とその対処法
問題は、こんなに多くのエネルギーを集中させると、反射板の筐体が損傷してしまうことです。ウェーハが必要な熱を得ている間も、周囲の部品は大きな放射ストレスに耐えなければなりません。 ここで、冷却システムが重要になります。もし空気の流れが悪ければ、筐体が過熱してしまいます。そうなると、金メッキが劣化し、効率が低下します。 金の表面を常にチェックしましょう。汚れや酸化が起きると、放射エネルギーが急激に減少します。そうなると、汚れた反射板を補うためにヒーターの出力を上げなければなりません。これは負け戦です。反射板を清潔に保ち、空気の流れを良くしておけば、システムは自動的に正常に機能します。