ウエハ用高精度IRセンサー

なぜウェーハ製造においてIR硬化を採用するのか 溶剤ベースの乾燥方法から赤外線（IR）硬化への切り替えは、単に流行に乗るだけのことではありません。実際、これは物理学上の理にかなった選択です。 小さなウェーハを乾燥させるために部屋全体を加熱する代わりに、IRセンサーやエミッターを使ってコーティング層...