ファブ内での汚染問題を防ぐために
もし、クラス100のクリーンルームを運営しているなら、ご存知の通り、わずかなほこりでもウェハの歩留まりが大幅に低下してしまいます。本当に厄介です。ほとんどの場合、問題の原因は加熱素子にあります。安定した状態で動作してほしい時に、そこからガスや微細な破片が放出されてしまうのです。
そのため、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使用するようにしました。これにより、このような問題を完全に解決できます。
なぜ効果的か
一般的なガラスでは、高温に耐えることができず、破壊されたり、微細な粒子が飛び散ったりしてしまいます。一方、高純度の石英は、極端な高温でもしっかりとした状態を保ち続けます。また、接着剤や有機コーティングなど、最初の数回の使用で燃え尽きてしまい、工程を台無しにするようなものは一切使用していません。
さらに、短波長のIR放射を利用しています。これにより、ウェハの周囲の空気を温めるのではなく、直接基板自体を加熱します。空気の流れが少なくなるため、床から粒子が舞い上がることもありません。シンプルです。
製造の詳細
安価なIRチューブはすぐに壊れてしまいます。これは大変です。私たちは、ヘーゲン元素の量や石英の壁厚を調整することで、この問題を回避しています。十分な熱を得つつ、ランプが長持ちするようにバランスを取っているのです。
ただし、注意点があります。パワー密度には警戒が必要です。高ワット数のランプを狭いスペースに設置すると、ブラケットに過度な熱負荷がかかります。冷却機能が不十分だと、ランプの外装が変形してしまいます。
ファブ内での使用方法
これらのランプは、そのまま交換可能に設計されています。乾燥装置全体を再構築する必要はありません。精密に加工されたエンドキャップを使用することで、内部のフィラメントが酸化するのを防ぎます。
その結果、清潔で乾燥した熱源が得られます。金属イオンも、炭素残留物もなく、何の問題もありません。乾燥工程で偶発的な汚染が発生するのに悩んでいるエンジニアにとって、これは理想的な解決策です。