ウェーハを加熱するのではなく、装置自体を加熱しないようにしましょう。 標準的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。つまり、360度全方位に熱が広がってしまいます。 狭い半導体製造ラインで作業している場合、これは大変な問題です。大量のエネルギーがウェーハには届かず、装置の内...

揮発性化学物質の近くでIRヒーターを使用する際の安全対策 正直に言って、未加工の石英ヒーターを可燃性溶剤のすぐそばに置くのは、災害を招く行為です。爆発しやすい化学物質を扱うときは、「最善を願う」だけでは不十分です。熱が適切な場所に留まるような仕組みが必要です。 そのため、私たちは二重管構造を採用し...