固体電池処理用ヒーター

このプロセスにおいては、ウェーハの乾燥処理、フォトレジストの予備加熱処理、そして界面の硬化処理が連続して行われます。赤外線を利用することで、浸漬による時間のロスをなくし、クローズドループ制御によって重要な寸法を規定範囲内に保つことができます。その結果、CDの精度が向上し、再加工の必要が減り、エネル...