MEMSウェーハの適切な乾燥方法 MEMSセンサーを製造する際、水分を取り除くことはかなり難しい作業です。ウェーハを乾燥させる必要がありますが、単に高温で加熱してしまうと、基板上にひび割れが生じたり、残留物が残ったりしてしまいます。 そこで役立つのが、私たちが使用する赤外線乾燥ヒーターです。高強度...

ファブ内での汚染問題を防ぐために もし、クラス100のクリーンルームを運営しているなら、ご存知の通り、わずかなほこりでもウェハの歩留まりが大幅に低下してしまいます。本当に厄介です。ほとんどの場合、問題の原因は加熱素子にあります。安定した状態で動作してほしい時に、そこからガスや微細な破片が放出されて...

製造現場において、乾燥に費やされる1ジュールのエネルギーは、プロセスのために使えないエネルギーとなります。従来の乾燥装置では、熱的な遅れを補うために過剰なエネルギーが消費され、それによって電力が無駄になり、さらにフォトレジストの品質にも悪影響を与えます。私たちは、このような無駄を削減しつつ、リソグ...