製造現場において、乾燥に費やされる1ジュールのエネルギーは、プロセスのために使えないエネルギーとなります。従来の乾燥装置では、熱的な遅れを補うために過剰なエネルギーが消費され、それによって電力が無駄になり、さらにフォトレジストの品質にも悪影響を与えます。私たちは、このような無駄を削減しつつ、リソグラフィーに適した精度の高い温度制御を実現するための乾燥装置を開発しました。
技術的に重要な点 私たちは、中波赤外線放射体と閉ループ型の薄膜センサーアレイを使用して、ウェハ全体で±0.1℃の精度で設定値を維持します。これにより、再現性の高いソフトベイクやハードベイクが可能となり、CDの精度も向上します。この装置は230VACで動作し、コンパクトなサイズです。また、放射体アレイはモジュール式であるため、メンテナンス時に迅速に交換することができます。クリーンルーム内での動作も確保されており、クラス1～100の環境下で粒子の発生がないことが、インライン監視によって確認されています。応答速度が速く、過剰なエネルギーの消費が少ないため、エネルギー効率も高くなります。
実際になぜうまく機能するのか 乾燥とは、単に溶剤を取り除くだけではありません。露光前やトラックが結合する前にフィルムの状態を安定させることが重要です。この装置を使用すれば、エネルギー消費を抑えつつ、プロセスの精度を維持できます。ウェハ全体の均一性が高くなるため、端の部分の問題や残留物が減少し、廃棄物や再作業の削減につながります。24時間365日稼働するラインでも、計画外の停止は一切なく、さらにベイクプロファイルの再現性が高いため、異なる製品やノード間での品質管理も容易になります。
事前に知っておくべきこと 改修には、既存のトラックインターフェースに合わせることや、排気電流を確認することが必要です。PID設定をチャンバーの形状や溶剤の量に合わせるためには、短期間の調整が必要です。一度設定が完了すれば、国際的な機器基準を満たす効率的な代替手段となり、既存の乾燥装置を効果的に置き換えることができます。