クラス100の超高純度環境を維持するために
半導体の世界では、わずかなほこりや金属酸化物の微粒子だけでウェーハが破壊されてしまいます。これはとても厳しい状況です。ほとんどの加熱素子はこのような環境には適しておらず、加熱・冷却のたびにガスが発生したり、微粒子が飛び散ったりします。
そのため、私たちは高純度の合成石英を使ったIRランプを使用しています。これらのランプは、クラス100（ISO 5）の清浄室向けに特別に設計されており、汚れを引き起こしません。
秘密は石英にあります。
私たちはほぼ不純物が含まれていない融合石英を使用しています。つまり、ランプが動作している間もイオンや微粒子が漏れ出ることはありません。通常のガラスは圧力によって変形してしまいますが、この素材は極端な温度でもしっかりとした状態を保ちます。これにより、真空状態が維持され、加熱エリアも清潔に保たれます。
効率的な加熱、混乱のない環境。
これらのランプは、集中した短波長のIR放射を利用します。最良な点は、基板を直接加熱できることです。空気や機械の筐体を加熱する必要がないので、エネルギーの無駄遣いもありません。これにより、対流による問題も防げます。空気を過度に加熱すると、床のほこりが製造エリアに入ってしまう恐れがあります。それは誰も望まないことです。
自分の装置に合ったワット数や長さを選ぶことができます。ただし、注意が必要です。これらのランプは非常に狭い範囲で非常に高温になります。高ワット数のランプを使用する場合は、冷却システムが十分に機能するか確認してください。そうしないと、ランプのソケットが焼損してしまいます。
細かい点も重要です。
私たちは精密に調整されたコネクタを使用しています。緩んだ接続は大惨事を招くからです。接続不良によりアークが発生し、金属の微粒子が生成されます。これはファブのエンジニアにとっては大変な問題です。
最後に、これらのランプを接続する際は、必ずノンワイプグローブを着用してください。本当にです。指紋一つでも油分が残ってしまいます。ランプが温度に達すると、その油分が石英に燃え付き、「ホットスポット」ができてしまい、ランプが早期に破壊されてしまいます。
幸いなことに、これらのランプはほとんどの高級ファブアレイに簡単に取り替えられるので、導入も比較的簡単です。