ファブの乾燥にかかるエネルギーを削減する

製造現場において、乾燥に費やされる1ジュールのエネルギーは、プロセスのために使えないエネルギーとなります。従来の乾燥装置では、熱的な遅れを補うために過剰なエネルギーが消費され、それによって電力が無駄になり、さらにフォトレジストの品質にも悪影響を与えます。私たちは、このような無駄を削減しつつ、リソグ...