晶圆处理设备用温度传感器

防止晶圆处理工具过热 你有没有注意到，普通的红外加热方式其实会让整个空间都变得很热？这就好比试图用喷火器来点燃蜡烛一样。虽然我们希望让晶圆变热，但实际上，整个真空室都会吸收掉那些热量。 这种“多余的 Heat”简直是个噩梦。它会让昂贵的工具外壳变成一个巨大的散热器，从而导致温度不稳定——最糟糕的是...