可与真空环境兼容的红外加热器
保持晶圆清洁:真空红外加热器的实际应用
在大规模半导体生产厂中,如果照明灯发生故障,那将是一场灾难。这不仅仅意味着机器会暂时停止运转而已。如果真空腔内的石英管破裂,玻璃碎片和有害气体就会四处飞溅,从而污染整批晶圆。
因此,我们设计的加热器不仅要能够正常工作,还要具备安全性能。
应对热量问题
在真空...
真空腔体红外加热器
真空红外加热与强制空气加热:哪种方式更适合您? 如果您从事半导体的深度加工工作,那么您一定很清楚温度控制的重要性。它既可以让加工过程顺利进行,也可能毁掉一批芯片。目前,仍有许多工厂使用强制空气加热方式,但最近越来越多的人开始选择真空腔体红外加热器。为什么呢?因为等待材料升温的过程实在浪费时间。
空...