可与真空环境兼容的红外加热器

保持晶圆清洁：真空红外加热器的实际应用 在大规模半导体生产厂中，如果照明灯发生故障，那将是一场灾难。这不仅仅意味着机器会暂时停止运转而已。如果真空腔内的石英管破裂，玻璃碎片和有害气体就会四处飞溅，从而污染整批晶圆。 因此，我们设计的加热器不仅要能够正常工作，还要具备安全性能。 应对热量问题 在真空...