正确干燥MEMS晶圆的方法
在制造MEMS传感器时，去除晶圆上的水分是一项颇具挑战性的任务。虽然需要让晶圆保持干燥状态，但也不能直接用高温来处理它，因为那样会导致基板变形或留下残留物。
这就是我们的红外线干燥器发挥作用的地方。我们使用高强度的石英灯，这些灯能够在几秒钟内迅速干燥晶圆表面。速度非常快。
功率与温度的平衡
其实，不能仅仅通过增加功率来解决这个问题。如果这么做的话，就会产生局部过热现象，从而损坏晶圆。
我们需要仔细调整功率和电压的比例，这取决于腔体的大小。当然，更高的功率可以提高生产效率，但同时也会给电源系统带来巨大负担。因此，必须调整灯与晶圆之间的距离以及工作周期，以确保表面温度保持在适宜的水平。
内部结构
我们使用高纯度的石英作为灯的封装材料。因为绝对不能让任何气体污染洁净室环境。此外，我们还使用了短波涂层。短波红外线能够更有效地穿透水分层，而长波辐射则做不到这一点。由于这些灯需要频繁开关，所以我们为它们配备了耐用的连接器，以避免其在几周后就损坏。
实际应用中的注意事项
说实话，将这类加热器应用到MEMS生产线上并非那么简单。其产生的热量非常高，如果没有有效的冷却系统，这些热量就会传导到设备的机壳中。一旦周围的电子元件因过热而出现故障，那就麻烦了。
这里有一些实用的建议：