TEL 东京电子 加热灯

在光刻车间里，你会发现，当光阻烘烤过程中的温度变化仅为0.5℃时，芯片上的线条宽度就可能会发生变化，这种变化幅度可达数纳米，进而严重影响芯片质量。因此，温度控制并非无关紧要的环节——它实际上是整个工艺流程中的关键所在。TEL加热灯正是为满足这一需求而设计的，它能够将热量精确地传递到晶圆、光阻以及相...