工厂干燥系统的能源审计

避免晶圆干燥过程中的污染问题 如果你们正在使用100级洁净室，那么你们应该很清楚：哪怕只有一粒微小的灰尘，也会导致晶圆的合格率大幅下降。这真是令人沮丧。大多数加热元件都是造成这一问题的罪魁祸首——因为它们在需要保持稳定状态时，反而会释放出气体或产生碎片。 因此，我们选择了高纯度的合成石英来制作红外...