晶圆固化灯用反射器
红外加热与热风加热:别再浪费时间在晶圆固化上了
如果您仍然依赖热风循环来进行半导体加工,那其实就是在与时间作斗争。问题在于,空气本身并不擅长传递热量。使用强制对流方式时,必须先加热空气,然后再加热整个处理腔体,最后才能加热晶圆。这一过程非常缓慢,而且还会造成生产效率的下降。
省去中间环节
这就是为...
合格认证的红外固化灯生产商
在半导体制造厂中减少碳排放:为何选择红外固化技术?
说实话,半导体制造厂是能源消耗大户。看看这些电能都用在了哪里——很大一部分都被用于热处理过程。
多年来,人们一直使用大型对流式烤箱来进行加热处理。但问题在于,为了将晶圆加热到合适的温度,这些烤箱需要消耗大量能量来加热水气以及烤箱壁面。这显然是一种...