晶圆加热的安全距离

在易挥发化学品存在的环境中加热晶圆时，如何确保安全呢？说实话，在化学清洁区域加热晶圆简直就像在玩火一样。当周围有易燃蒸汽存在时，哪怕是一个小小的火花或热量失控的情况，都可能引发灾难性后果。 为避免这种情况发生，我们不再使用开放式光源，而是改用了封装式的红外灯。其工作原理如下： 密封结构才是关键 我...