洁净室设备升级工厂

在晶圆厂车间，生产线从不停歇。光刻轨道、涂胶/烘烤模块和清洗单元同步运行。当热系统出现偏差——哪怕是一点点——光刻胶轮廓就会发生变化，关键尺寸（CD）控制变差，良率受到影响。 升级洁净室设备并非表面功夫，而是针对性干预：恢复热控制纪律，降低颗粒风险，保持设备运行时间。 我们的升级方案围绕一个明确目...