防止晶圆处理工具过热
你有没有注意到，普通的红外加热方式其实会让整个空间都变得很热？这就好比试图用喷火器来点燃蜡烛一样。虽然我们希望让晶圆变热，但实际上，整个真空室都会吸收掉那些热量。
这种“多余的 Heat”简直是个噩梦。它会让昂贵的工具外壳变成一个巨大的散热器，从而导致温度不稳定——最糟糕的是，还可能有人因为在操作过程中被高温灼伤。
我们找到了一种更好的方法：定向加热。
其工作原理
与其向各个方向散发热量，我们则使用短波红外灯和精确的反射器。这就好比把普通灯泡换成激光器一样。我们可以将能量直接照射到晶圆表面。
这样一来，真空室的墙壁就不会过热了。同时，我们仍然可以获得快速的升温效果，而不会让工具外壳过热。
具体细节与权衡
我们使用高功率的石英管，因为它们能产生强大的热量。它们被设计为具有高功率密度，因此晶圆可以在短时间内达到所需的温度。
不过，有一点需要注意：必须确保冷却系统能够承受这样的高负荷。因为能量高度集中，焦点处的热量会非常剧烈。如果冷却系统无法应对这种高压力，那么晶圆上就会出现局部过热的情况。不过，只要参数设置得当，这个问题是可以轻松解决的。
提高工作场所的安全性
由于墙壁不再吸收多余的热量，机器的外表面也会保持凉爽。这对于那些负责装载工具或进行维护的人来说无疑是个巨大的好处。他们再也不用担心被高温表面烫伤了。
此外，密封件和垫圈也能更长久地使用下去。通常情况下，这些部件因为持续受到间接热量的影响而过早损坏。现在，它们可以正常发挥作用了。
最棒的是，这些部件可以直接替换现有的部件。只需将它们连接到现有的控制器上，就能大大降低设备的能耗。非常简单。