别再浪费能量去加热机器本身了，而应该把热量集中在晶圆上 传统红外灯的问题在于：它们会将热量向四周散发。也就是说，热量是360度全方位扩散的。 在狭小的半导体生产环境中，这简直就是一场噩梦。大量能量并没有照射到晶圆上，而是直接击中了设备的内壁。这样一来，设备的外壳就会出现“高温区”，这不仅可能烧伤操...

在使用红外线加热器处理易挥发化学品时，如何确保安全呢？说实话，将石英加热元件直接放在易燃溶剂旁边，无疑会引发灾难。面对那些容易爆炸的化学物质时，我们绝不能寄希望于运气，而必须采取有效的措施来控制热量。 这就是为什么我们采用双管设计，并在管子上涂上黄金涂层。这样的设计能够有效隔离热量，避免热量散逸到...