用于冲洗的防水红外灯

如何让晶圆干燥更加高效？ 在清洗阶段使用防水型红外灯时，实际上就是在与能源浪费作斗争。虽然需要尽快将硅晶圆烘干，但也不能一味增加热量——否则会损坏电路。真正的问题是，过多的能量会流入机器外壳中，而无法作用于晶圆上。 为何选择黄金作为反射材料？ 大多数人最初会使用铝制反射器，但实际上这种材料效果不佳...