用于半导体加热器的热电偶

为何我们如此重视半导体热电偶的绝缘性能检测 当半导体加热系统中的热电偶出现故障时，很少只是“传感器本身的问题”。如果绝缘层出现破损，电流就会开始泄漏到各个地方——比如晶圆或加热器机身内部。这样一来，最糟糕的情况就是设备完全短路。 正因如此，我们不会凭猜测来处理问题。每一个出厂的产品都必须经过...