ウェーハ加工用のツールが過熱するのを防ぎましょう。
一般的な赤外線加熱方式では、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。まるで、マッチ棒でろうそくに火をつけようとしているようなものです。ウェーハを温めたいのに、実際には真空チャンバー全体がその熱エネルギーを吸収してしまいます。
この「余分な熱」は大きな問題です。高価なツールのケースが巨大な放熱体と化し、結果として温度変動が生じ、最悪の場合、作業員が火傷する危険性もあります。
私たちは、より良い方法を見出しました。それが「指向性加熱」です。
実際の動作原理
熱をあらゆる方向に放出するのではなく、短波長の赤外線ランプと精密な反射器を使用します。これは、通常の電球からレーザーに切り替えるようなものです。エネルギーをウェーハ表面に直接照射します。
その結果、チャンバーの壁面は低温のままです。RTPに必要な急速な加熱も可能ですが、ツールのケースが過熱することはありません。
詳細とトレードオフ
高出力の石英管を使用します。これにより、ウェーハは数秒で目標温度に到達します。しかし、冷却システムがその負荷に耐えられない場合、ウェーハに局所的な過熱部分ができてしまいます。これはトレードオフですが、仕様を適切に設定すれば簡単に対処できます。
作業環境の安全性向上
壁面が余分な熱を吸収しなくなるため、機械の外部は触っても冷たくなります。これは、ツールの装着やメンテナンスを行う人々にとって大きな利点です。もう、高温の表面を避ける必要はありません。
さらに、シールやガスケットも長持ちします。通常、これらの部品は間接的な熱によって早く劣化してしまいますが、今では本来の機能を果たせます。
最良な点は、これらは既存のコントローラーに簡単に接続できる点です。そうすれば、熱管理がずっと容易になります。