洗浄用防水赤外線ランプ

ウェーハの乾燥効率を高める方法 洗浄工程で防水対応のIRランプを使用する場合、実質的には無駄なエネルギーと戦っていることになります。シリコンウェーハを素早く乾燥させる必要がありますが、単に熱を強くするわけにはいきません。そうすれば回路が破損してしまいます。実際の問題は、発生したエネルギーの多くがウ...