クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために（加熱しながらも） クラス100のクリーンルームで作業する際、温度は重要な要素の半分に過ぎません。本当の問題は、粒子です。 一般的なヒーターは危険です。それらはガスや微小な破片を放出し、わずか数秒でウェハーを損傷したり、光学レンズに汚れを付け...

ファブフロアでは、110°Cでのソフトベイクが±1.5°Cのドリフトを持つことは単なるパラメータではなく、開くのを待つ歩留まりリークです。ウォーターマーク、エッジビード、パターンコラプスは、熱制御がずれた瞬間に始まります。ウエハーを別のバッチとしてではなく、熱境界条件として扱うドライヤーが必要です...